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當前位置:首頁產品中心輪廓儀接觸式輪廓儀

  • P170全自動晶圓探針式輪廓儀/臺階儀

    P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,將P-17臺式系統的測量性能和經過生產驗證的HRP®-260的機械傳送臂相結合。 這樣的組合為機械傳送臂系統提供了低成本,適用于半導體,化合物半導體和相關行業。 P-170全自動晶圓探針式輪廓儀/臺階儀可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。

    更新時間:2024-06-17
    產品型號:P170
    瀏覽量:5366
  • P17自動晶圓探針式輪廓儀/臺階儀

    自動晶圓探針式輪廓儀/臺階儀P17。該系統支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力2D和3D測量,掃描可達200mm無需圖像拼接。結合UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺,有出色測量穩定性。

    更新時間:2024-06-17
    產品型號:P17
    瀏覽量:2491
  • P7晶圓探針式輪廓儀/臺階儀

    P-7晶圓探針式輪廓儀/臺階儀保持了P-17技術的測量性能,并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了好的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達150mm而無需圖像拼接。從可靠性表現來看, P-7具有較好的測量重復性。

    更新時間:2024-06-17
    產品型號:P7
    瀏覽量:5034
  • D-600Alpha-Step高精度臺階儀/輪廓儀

    KLA先進的探針式臺階儀Alpha-Step D-600,帶有電動載物臺。可測量納米級至1200um臺階高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺階高度重復性以及亞埃級的分辨率。這種Alpha-Step高精度臺階儀/輪廓儀有著可選的3D輪廓分析功能。

    更新時間:2024-06-17
    產品型號:D-600
    瀏覽量:2966
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