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  • ELS-F125/F100/HS50電子束曝光系統

    ELS-F125是Elionix推出的世界上1st臺加速電壓達125KV的電子束曝光系統,其可加工線寬下限為5nm的精細圖形。(以下參數基于ELS-F125)

    更新時間:2024-06-17
    產品型號:ELS-F125/F100/HS50
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